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摘要 (3 / 4)_

        -整理新型材料特X、元件结构及制程技术的最新进展。

        2.实验技术学习与C作

        -材料制备:CVD、ALD、溅S沉积等薄膜沉积技术。

        -元件制程:光刻、蚀刻、离子植入、热处理等。

        -特X分析:电子显微镜SEM/TEM、XS线衍SXRD、电X测试IV曲线、电子迁移率测定。

        3.数据分析与模拟

        -运用TCAD模拟元件X能,分析材料与结构对X能的影响。

        -统计分析实验数据,确保结论可靠X

        六、研习进度规划

        时间阶段研习目标

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