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-整理新型材料特X、元件结构及制程技术的最新进展。
2.实验技术学习与C作
-材料制备:CVD、ALD、溅S沉积等薄膜沉积技术。
-元件制程:光刻、蚀刻、离子植入、热处理等。
-特X分析:电子显微镜SEM/TEM、XS线衍SXRD、电X测试IV曲线、电子迁移率测定。
3.数据分析与模拟
-运用TCAD模拟元件X能,分析材料与结构对X能的影响。
-统计分析实验数据,确保结论可靠X
六、研习进度规划
时间阶段研习目标
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